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影像测量仪如何测量硅片的直径

作者: admin 时间:2018-11-25 来源:未知
摘要:影像测量仪 目前应用是非常广泛的,在前面我们也有介绍了影像测量仪测量应用的其它行业,相信大家对光学影像测量仪已经有了一定的了解,接下来我们再给大家介绍一下影像测量仪...

     

       影像测量仪目前应用是非常广泛的,在前面我们也有介绍了影像测量仪测量应用的其它行业,相信大家对光学影像测量仪已经有了一定的了解,接下来我们再给大家介绍一下影像测量仪在硅片行业的应用中需要什么样的流程。

      在分析光学检测仪器的发展趋势分析之前我们先来说说它有哪些仪器。目前市场上常见的光学检测仪器有:二次元影像仪、光谱仪、光度计、光探头、光分布曲线设备、光学检测仪等等。这些设备都是用来对产品的质量进行检测,为产品质量的提升提供了可靠的数据。
 
    在现代工业的生产中,我们经常会用到各种各样的检测仪器,精密测量仪器就是其中的一款。而在精密测量仪器中,又有许多的检测仪器,如二次元影像仪和三坐标测量机,它们都有各自特有的功能,被很多生产厂家所使用。
 
    二次元影像仪是以检测工件的二维数据为主的影像测量仪器,是精密测量仪器中使用广泛的仪器之一。三坐标测量机是在二次元的基础上研发生产的,它在长宽检测的根本上加了高度检测的功能,是模具检测的重要检测仪器。
 
    但是如今的生产工艺已经涉及到立体图形,因此测量仪也进行了升级,有3D全自动影像测量仪,三次元测量仪等。在今后的发展中,4D检测仪器也会相继的出现,发展前景一片光明。

   
立即博 1、清洁样品夹、螺旋测微计主轴端部和载物台的接触表面。

  
2、调节光学影像仪放大器,使得放大倍数处于20倍~40倍范围内,把刻度板镶嵌到屏幕上,把样品夹固定在载物台上。

  
立即博 3、按规定确定要测量的三条直径的位置。

  
4、把待测硅片固定在样品夹上,使被测直径处于测量位置,调节影像仪的焦点,使硅片边缘轮廓清晰地显示在显示屏上。

  
5、调节载物台的垂直位置,以便硅片被测直径的试样图像与显示屏上水平坐标轴一致。样片显示在屏幕的右边。

  
6、调节螺旋测微计,以便主轴在标准量程中心±30%移动。

  
7、松开并移动样品夹,使硅片边缘的影像靠近刻度板垂直轴线。

  
8、重新紧固样品夹,旋转测微计主轴进行微小平移调节,以便硅片边缘影像刚好和垂直轴线相切。注意主轴旋转方向,做后调节。记下此时螺旋测微计读数。

  
9、选择和硅片直径尺寸相当的标准长度量块,记录基准长度,清洁量块,如果多个长度量块形成一个参考长度,按照量块使用要求把他们沿合在一起。

  
10、小心移动载物台,原理螺旋测微计主轴,把标准长度量块放在测微计轨道上,移动载物台,轻轻靠向标准长度量块。

  
11、旋转测微计主轴,使得每一次测量的对边影像刚好与垂直轴线相切,调节测微计主轴旋转方向与步骤8一直,以消除主轴向后靠的影响。记录第二个测微计读数。

  
12、旋转硅片,使另一条被测直径处于测量位置,重复5~11测量步骤,直至完成三条直径测量,并计算测量结果。

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